Современное спецтехнологическое оборудование и автоматизация процессов полупроводникового производства / Моховикова Н.И. ; Шкармутин П.П.
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1984, Б. м. Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи