Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210400 - "Телекоммуникации"; [для студентов всех форм обучения по направлениям: 210100 - "Электроника и наноэлектроника", 210400 - "Телекоммуникации", 210600 - "Нанотехнологии", 210700 - "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 211000 - "Конструирование и технология электронных средств"] / А.Н. Игнатов, И.В. Решетнева ; Федер. агентство связи, Федер. гос. образоват. бюджет. учреждение высш. проф. образования "Сиб. гос. ун-т телекоммуникаций и информатики" (ФГОБУ ВПО "СибГУТИ")
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : СибГУТИ, 2011Физическая характеристика: 211 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 206-211.Предметная рубрика - Тема: Микроэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Наноэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Электронные приборы -- Производство -- Физико-химические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1-01я73-1 ; З85-06я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 206-211