Особенности технологии формирования и электрофизические свойства изолирующих слоев в микросхемах памяти с поликремневым затвором / Г.В. Перов, М.А. Ульев
Сводное описание: Обзоры по электронной техникеЯзык: русский.Выходные данные: 1984, Б. м.Серия: ; Вып.1047Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи