Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Выпуск

Фотохимические пленки диоксида и нитрида кремния в технологии микроэлектронных приборов / А.В. Бакун, В.В. Щеглова

Автор: Бакун, А.В. -- АвторАвтор (Альтер.): Щеглова, В.В. -- АвторСводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1989, Б. м.Серия: ; Вып.1474 Тип экземпляра: Выпуск
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи