Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности полупроводников : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1975 годы) / О.П. Вестораль, А.Т. Мягков
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1976, Б. м.Серия: ; Вып.404 Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи