Физические концепции механизма лазерного отжига имплантированных полупроводниковых структур : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1975 - 1981 гг.) / Н.В. Черепнин
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1981, Б. м.Серия: ; Вып.788 Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи