Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Выпуск

Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии / Ю.В. Гуляев, Р.К. Яфаров

Автор: Гуляев, Ю.В. -- АвторАвтор (Альтер.): Яфаров, Р.К. -- АвторСводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1989, Б. м.Серия: ; Вып.1442 Тип экземпляра: Выпуск
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи