Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Выпуск

Тенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния / А.Н. Семенченко и др.

Автор: Семенченко, А.Н. -- АвторСводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1989, Б. м.Серия: ; Вып.1455 Тип экземпляра: Выпуск
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи