Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012 [МЭС - 2012] : V Всероссийская научно-техническая конференция, [8-12 октября 2012 года]; сборник трудов / [под общ. ред. акад. А.Л. Стемпковского]
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Москва : Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике, 2012Физическая характеристика: 716 с. : ил. ; 29 см.ISBN: 9785903559381 Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр. в конце докл.; Имен. указ. авт. ст.: с. 688-691.Предметная рубрика - Тема: Микроэлектроника -- Съезды, совещания и т.п | Наноэлектроника -- Съезды, совещания и т.п Другие классификации: З844.1я431(2) Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Рез. на англ. яз.
Библиогр. в конце докл.
Имен. указ. авт. ст.: с. 688-691