Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике : опорный конспект лекций / В. П. Вейко ; М-во образования и науки Российской Федерации, Санкт-Петербургский нац. исслед. ун-т информ. технологий, механики и оптики
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2012Физическая характеристика: 140 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785757703879 Библиография: Библиогр.: с. 129.Предметная рубрика - Тема: Лазеры -- Применение в микроэлектронике -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1-06-5я73-2 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 129