Основы нанометрологии : учебное пособие; [по специальности 22051 "Управление качеством"] / Е.А. Карцев, А.И. Юрин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Московский государственный институт электроники и математики, 2012Физическая характеристика: 136 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785945063310 Библиография: Библиогр.: с. 129-136 (100 назв.).Предметная рубрика - Тема: Нанометрология -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: Ж10я73-1 ; Ж36я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 129-136 (100 назв.)