Технология многослойных структур для микроэлектроники. Раздел: Технология тонокопленочных интегральных схем : Курс лекций для студентов спец. 0643 / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т стали и сплавов. Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов
Язык: русский.Выходные данные: М. : Моск. ин-т стали и сплавов, 1987Физическая характеристика: 76 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 75. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 88-4/16788 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5738583-10 |
Библиогр.: с. 75