Оптимизация процессов роста эпитаксильных слоев кремния на установке УНЭС-2ПКА / [Б.М. Абдурахманов, С.Р. Бойко, А.С. Кузнецов и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Ташкент : Фан, 1983Физическая характеристика: 15 с. : ил. ; 20 см.Серия: Информационное сообщение ; № 304Примечания: Описано по 3 с. На тит. л. и обл. только загл. сер.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П7/1244 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6347531-10 |
Описано по 3 с. На тит. л. и обл. только загл. сер.