Оптоэлектронный метод контроля процесса выращивания многослойной полупроводниковой матрицы / Кульчин Ю.Н., Лифшиц В.Г., Май В.П., Обух В.Ф. ; [Отв. ред. к. ф.-м. н. В.А. Гальбурт]
Язык: русский.Выходные данные: Владивосток : ИАПУ, 1984Физическая характеристика: 18 с. : ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; № 10 (119)Библиография: Библиогр.: с. 17-18. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 85-4/9698 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6347661-10 |
Библиогр.: с. 17-18