Технология производства интегральных микросхем : Лекции / [Смирнов О.Л., Андреева А.Н., Илларионов О.И., Ястребов А.П.] ; Под ред. доц., д. т. н. В.А. Лопухина
Язык: русский.Выходные данные: Л. : ЛИАП, 1983Физическая характеристика: 57 с. : ил. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. ин-т авиац. приборостроения.Библиография: Библиогр.: с. 55-56. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 84-4/20048 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6048387-10 |
В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. ин-т авиац. приборостроения
Библиогр.: с. 55-56