Измерение малых расходов газов при производстве изделий микроэлектроники : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1968-1985 гг.) / Р.Н. Каратаев, Н.А. Пулина, В.Б. Лысов
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1987 (обл. 1988)Физическая характеристика: 43 c. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1328Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 40-43. Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5746026-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 40-43