Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Книга

Измерение малых расходов газов при производстве изделий микроэлектроники : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1968-1985 гг.) / Р.Н. Каратаев, Н.А. Пулина, В.Б. Лысов

Автор: Каратаев, Робиндар НиколаевичАвтор (Альтер.): Пулина, Наталья Александровна;Лысов, Валерий БорисовичЯзык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1987 (обл. 1988)Физическая характеристика: 43 c. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1328Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 40-43. Тип экземпляра: Книга
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Экземпляры
Тип экземпляра Текущая библиотека Шифр хранения Статус Срок возврата Штрих-код
Книга РНБ (Московский) Русский журнальный фонд П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) Доступно 5746026-10

В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР

Библиогр.: с. 40-43