Кинетика формирования силицидных фаз при термоионном осаждении титана на монокристаллический кремний / Е.И. Богданов, И.В. Гусев, Л.Н. Лариков и др.
Язык: русский.Выходные данные: Киев : ИМФ, 1987Физическая характеристика: 10 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; ИМФ 29.87Библиография: Библиогр.: с. 10.Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 000004. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд литературы для служебного пользования | 89-50К/4368 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-1727288 |
Библиогр.: с. 10
ДСП. Экз. № 000004