Подробности: Ионно-плазменные процессы в технологии микроэлектроники , [Сб. ст.]

Книга

Ионно-плазменные процессы в технологии микроэлектроники : [Сб. ст.] / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса ; [Редкол.: М. Домкус (отв. ред.) и др.]

Автор (Вторич.): Домкус, Миндаугас Стасио -- РедакторОрганизация (Вторич.): Каунасский политехнический ин-т им. А.СнечкусаЯзык: русский.Выходные данные: Вильнюс : Б. и., 1982Физическая характеристика: 142 с. : ил. ; 22 см.Серия: Тематический сборник научных трудов вузов ЛитССР Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж	83-5/1409 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		6350703-10

Библиогр. в конце ст.