Процессы параллельного переноса изображений в субмикронной литографии : Дис. на соиск. учен. степ. д. ф.-м. н. в форме науч. докл. / АН СССР, Ин-т общ. физики
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1987Физическая характеристика: 59, [8] с.Библиография: Библиогр.: с. 59-[8].Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 00004. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд литературы для служебного пользования | 88-50К/397 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-2503931 |
Библиогр.: с. 59-[8]
ДСП. Экз. № 00004