ИССЛЕДОВАНИЕ кинетики формирования профиля в резистных масках в процессе фотостимулированного травления ВУФ-излучением / К.А. Валиев, Л.В. Великов, А.А. Коньков и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1987Физическая характеристика: [1], 32 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 218Библиография: Библиогр.: с. 18-20. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 18-20