Термические процессы в микроэлектронике : [Учеб. для сред. ПТУ]
Язык: русский.Выходные данные: М. : Высш. школа, 1987Физическая характеристика: 198, [1] с. : ил. ; 22 см.Издание: : 3-е изд., перераб. и доп.Серия: Профтехобразование Примечания: Загл. 2-го изд.: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве.Библиография: Библиогр.: с. 197 (9 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/М-809 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-278484 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 87-5/1528 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5754519-10 |
Загл. 2-го изд.: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
Библиогр.: с. 197 (9 назв.)