Физико-технологические аспекты создания микроэлектронных структур : [Сб. материалов] / АН СССР, Дальневост. науч. центр. Ин-т автоматики и процессов упр. ; [Отв. ред. д. т. н., проф. Ф.Г. Старов]
Язык: русский.Выходные данные: Владивосток : ДВНЦ АН СССР, 1978Физическая характеристика: 137 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр. в конце работ.Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 4. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд литературы для служебного пользования | 79-50К/69 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6662582-10 |
Библиогр. в конце работ
ДСП. Экз. № 4