Химические процессы и конструкционные материалы в микроэлектронике : Учеб. пособие / В.З. Петрова, Н.А. Ханова, В.И. Гребенькова ; Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1988Физическая характеристика: 79 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 77. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/12684 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5758901-10 |
Библиогр.: с. 77