Получение тонкопленочных элементов микросхем / Б.С. Данилин
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Энергия, 1977Физическая характеристика: 136 с. : ил. ; 20 см.Серия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып. 10Библиография: Список лит.: с. 128-134 (108 назв.).Предметная рубрика - Тема: Пленки тонкие -- Получение -- Применение вакуума | Микросхемы пленочные -- Производство Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 77-3/6014 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6666652-20 |
Список лит.: с. 128-134 (108 назв.)