Подробности: ПРОБЛЕМЫ литографии в микроэлектронике , [Сб. ст.]

Книга

ПРОБЛЕМЫ литографии в микроэлектронике : [Сб. ст.] / Отв. ред. к. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе

Автор (Вторич.): Махвиладзе, Т.М. -- РедакторЯзык: русский.Выходные данные: М. : Наука, 1987Физическая характеристика: 149 с. : ил. ; 24 см.Серия: Труды Института общей физики ; Т. 8Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга

Экземпляры ( 1 )
Примечания ( 1 )

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский журнальный фонд	П7/2089 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5764851-10

Просмотр РНБ (Московский) полок, Местонахождение: Русский журнальный фонд Закрыть просмотр полки (Скрывает браузер полки)


	П7/2089 МЕДЛЕННОЕ горение лазерной плазмы и оптические разряды, [Сб. ст.]	П7/2089 ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники, [Сб. ст.]	П7/2089 ПРОБЛЕМЫ волоконной оптики, [Сб. ст.]	П7/2089 ПРОБЛЕМЫ литографии в микроэлектронике, [Сб. ст.]	П7/2089 ГЕНЕРАЦИЯ нелинейных волн и квазистационарных токов в плазме, Сб. науч. тр.	П7/2089 НЕЛИНЕЙНАЯ оптика и нелинейная акустика жидкости, [Сб. ст.]	П7/2089 Физико-химические аспекты технологии кристаллов сложных оксидов для твердотельных лазеров, [Сб. ст.]

Библиогр. в конце ст.

Печать
Добавить в вашу подборку (удалить)
Отправить на устройство
Сохранить запись
BibTeX MARCXML MODS (XML) RIS RUSMARC (Юникод/UTF-8, стандартный)
Больше поисковых запросов

Поиск данного заглавия в:
Other Databases (Google Scholar) Open Library (openlibrary.org)