Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем : Учеб. пособие / [Игнатьев В.В., Дикушин В.В., Сербинов Д.Н. и др.] ; Под ред. канд. техн. наук, доц. В.В. Игнатьева ; Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Ленинград : ЛЭТИ, 1977Физическая характеристика: 89 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Список лит.: с. 88 (7 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 78-4/2936 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6678879-20 |
Список лит.: с. 88 (7 назв.)