Управление процессами получения монокристаллического кремния и эпитаксиальных структур / Ю.А. Максимов, И.В. Чернина, А.И. Ратнер и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИцветмет экономики и информ., 1983Физическая характеристика: 59 с. : схем. ; 20 см.Серия: Обзорная информация ; Вып. 2Примечания: В надзаг. также: М-во цв. металлургии СССР.Библиография: Библиогр.: с. 57-58. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П10/5870 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6079881-10 |
В надзаг. также: М-во цв. металлургии СССР
Библиогр.: с. 57-58