Физические явления в технологии микроэлектроники : Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; [Редкол.: Т.Д. Шермергор (гл. ред.) и др.]
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1982 (вып. дан. 1983)Физическая характеристика: 88 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 84-4/7803 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6082318-10 |
Библиогр. в конце ст.