Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники : Учеб. для студентов высш. учеб. заведений, обучающихся по специальности "Электроон. машиностроение" / Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, Л.К. Ковалев и др. ; Под ред. проф. Л.К. Ковалева, Н.В. Василенко
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Красноярск : Сиб. аэрокосм. акад., Краснояр. кн. изд-во, 1995Физическая характеристика: 21 см.Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Производство -- Вакуумное оборудование -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Электронные приборы -- Производство -- Вакуумное оборудование -- Учебные издания для высшей школы | Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Оборудование -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Оборудование -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З85-060.7-5я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи