Подробности: Оптические основы контактной фотолитографии

Книга

Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис

Автор: Березин, Геннадий НиколаевичАвтор (Альтер.): Никитин, Аркадий Викторович ;
Сурис, Роберт АрнольдовичЯзык: русский.Выходные данные: М. : Радио и связь, 1982Физическая характеристика: 103 с. : ил. ; 20 см.Серия: Массовая библиотека инженера ; Вып. 33Библиография: Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.).Коллекция: Готово к оцифровке ; Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	83-3/1654 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		6092261-10

Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.)