Технология и автоматизация производства полупроводниковых приборов и интегральных схем : Учеб. пособие / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Л. : ЛЭТИ, 1990Физическая характеристика: 62 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 61. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 90-4/18160 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5488040-10 |
Библиогр.: с. 61