Осаждение силицидов тугоплавких металлов из газовой фазы, их свойства и состав : (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1973-1986 гг.) / И.А. Голод, С.Ф. Девятова, В.Г. Ерков
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1987Физическая характеристика: 52 с. : граф. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1312Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 49-52; На обл. ошибочно: Вып. 1213. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5790817-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 49-52
На обл. ошибочно: Вып. 1213