Специальные методы локальной микрообработки тонкопленочных покрытий : Учеб. пособие [для студентов 4 курса по спец. 0567 "Полупроводниковое и электровакуум. машиностроение"] / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭМ, 1988Физическая характеристика: 98 с. : ил. ; 20 см. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 88-4/24195 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5797404-10 |