Методы диагностики поверхности в технологии микроэлектроники : Текст лекций [для студентов спец. 20.01] / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Л. : ЛЭТИ, 1990Физическая характеристика: 45 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 43-44. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 90-4/17451 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5500402-10 |
Библиогр.: с. 43-44