НИТРИД кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 годы) / И.А. Голод, С.Ф. Девятова, В.Г. Ерков и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1988Физическая характеристика: 43 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1326Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 38-43. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5803796-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 38-43