Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы) / [А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин]
Язык: русский.Выходные данные: Минск : Изд-во БГУ, 1980Физическая характеристика: 350 с. : ил. ; 17 см.Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л..Библиография: Библиогр.: с. 345-348 (42 назв.); Указ. материалов: с. 349. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 80-2/3439 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6409077-10 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 345-348 (42 назв.)
Указ. материалов: с. 349