Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Кн. 6: Нанесение пленок в вакууме / [В.Е. Минайчев]
Сводное описание: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.]Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1989Физическая характеристика: 109, [1] с. : ил.ISBN: 5-06-000308-6 Библиография: Библиогр.: с. 108 (6 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/Т-384 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-252040 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 89-3/13958 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5805424-10 |
Библиогр.: с. 108 (6 назв.)