Анализ ближнего порядка в пленках нитрида кремния методом РФР
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Ин-т физики полупроводников, 1982Физическая характеристика: 16 с. : граф. ; 20 см.Серия: Препринт ; 3-82Библиография: Библиогр.: с. 15-16. Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 83-4/31741 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6111728-10 |
Библиогр.: с. 15-16