Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов : (Реф.-аналит. обзор); Ч. 1-2 / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1974Физическая характеристика: 2 т. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи