Подробности: Некоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах

Книга

Некоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т ЦНИИ "Электроника"

Автор (Альтер.): Телешов, Б.В.;Фридман, В.Е.;Славинская, В.Н.;Ионина, Наталья МиркирьевнаЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1971Физическая характеристика: 41 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 281Примечания: Перед загл. авт.: Н.М. Ионина, В.Н. Славинская, Б.В. Телешов, В.Е. Фридман.Библиография: Библиогр.: с. 39-40. Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский журнальный фонд	П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		7600720-10

Перед загл. авт.: Н.М. Ионина, В.Н. Славинская, Б.В. Телешов, В.Е. Фридман

Библиогр.: с. 39-40