Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / [Б.Д. Луфт, В.А. Перевощиков, Л.Н. Возмилова и др.] ; Под ред. Б.Д. Луфт
Язык: русский.Выходные данные: М. : Радио и связь, 1982Физическая характеристика: 137 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 129-135. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 82-5/6159 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-4589366 |
Библиогр.: с. 129-135