ОБРАЗОВАНИЕ фазы силицида при имплантации низкоэнергетичных ионов Мо⁺ и Та⁺ в кремний / Еникеев Э.Х., Любимов А.Г., Людчик О.Р. и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1990Физическая характеристика: 24 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 72Библиография: Библиогр.: с. 14. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 91-4/1745 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5545350-10 |
Библиогр.: с. 14