Технология спецматериалов интегральных схем : [Сборник статей] / [Отв. ред. д. т. н., проф. Е.Б. Соколов]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1976Физическая характеристика: 213 с. : ил. ; 21 см.Серия: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники ; Вып. 24Библиография: Библиогр. в конце статей. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П10/3786 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7310568-10 |
Библиогр. в конце статей