Сборник научных трудов "Физические явления в технологии микроэлектроники" / Моск. ин-т электрон. техники ; [Редкол.: Т.Д. Шермергор (гл. ред.) и др.]
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1981 (вып. дан. 1982)Физическая характеристика: 103 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр. в конце работ. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 83-3/228 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6164596-10 |
Библиогр. в конце работ