Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Язык: русский.Выходные данные: М. : Энергоатомиздат, 1989Физическая характеристика: 326, [1] с. : ил. ; 22 см.ISBN: 5-283-03939-0 Примечания: Загл. корешка: Применение плазмы....Библиография: Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд научного зала литературы по технике | Нз З844.13/Д-182 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6 | 1-374696 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-5/2332 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5564353-10 |
Загл. корешка: Применение плазмы...
Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.)