ДВУМЕРНОЕ моделирование высококонцентрационной диффузии ионно-имплантированного мышьяка в кремнии / В.А. Лабунов, В.Н. Абрашин, А.А. Егоров, О.И. Величко ; [Ред. Л.Г. Радкевич]
Язык: русский.Выходные данные: Минск : ИМ, 1989Физическая характеристика: 32 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 6 (356)Библиография: Библиогр.: с. 31-32. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/13006 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5564608-10 |
Библиогр.: с. 31-32