ИСПОЛЬЗОВАНИЕ комбинационного рассеяния света для контроля качества приповерхностных полупроводниковых слоев / Е.В. Иванов, И.П. Ипатова, С.Н. Косолобов и др.
Язык: русский.Выходные данные: Л. : ФТИ, 1986Физическая характеристика: 44 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; 1040Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 42-44. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 87-4/17768 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5868853-10 |
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 42-44