Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана / [И.В. Гранков, В.М. Гуревич, Л.Н. Демин, Ю.В. Юшков] ; Центр. науч.-исслед. ин-т информации и техн.-экон. исследований цвет. металлургии
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Цветметинформация, 1976Физическая характеристика: 52 с. : граф. ; 21 см.Серия: Обзорная информация Библиография: Список лит.: с. 44-49 (68 назв.).Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые пленки -- Получение -- Обзоры литературы информационные | Кремний -- Кристаллы -- Рост -- Обзоры литературы информационные Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 77-4/10665 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7328016-10 |
Список лит.: с. 44-49 (68 назв.)