Приборная пороговая чувствительность модуляционного нуль-эллипсометра: вывод, исследование и сравнительный анализ
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Ин-т физики полупроводников, 1989Физическая характеристика: 30 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 45Библиография: Библиогр.: с. 29-30. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 90-4/5012 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5567932-10 |
Библиогр.: с. 29-30