Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1972Физическая характеристика: 24 с. : граф. ; 20 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 42Библиография: Библиогр.: с. 21-23.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7628165-10 |
Библиогр.: с. 21-23